收藏本站

取样光栅的刻蚀深度空间分布微调方法

【摘要】:研究工作主要可概括为两个部分:其一,刻蚀深度分布微调方法的理论研究和实验验证;其二,变束斑离子束修形方法的理论研究和模拟分析。论文的重要研究结果和创新之处包括:一、针对大尺寸取样光栅的衍射效率均匀性问题,我们提出了一种新的初步解决方案,既能提高衍射效率均匀性又可保证较高的生产效率。美国劳伦斯利弗莫尔的研究者采用类似于离子束修形的扫描湿法刻蚀方法;中国国家同步辐射实验室的研究组则对刻蚀后的光栅进行化学机械抛光以修正其衍射效率均匀性。这两种方法能有效地提高衍射效率均匀性,但是它们的生产效率都不高。我们的方案是:在大面积扫描离子束刻蚀过程中,使用动态叶片对条形离子束流进行扫描遮挡,从而使光栅槽深空间分布发生微弱变化以修正衍射效率空间分布的均匀性。对比现有的两种方法,可以看出,如何实现刻蚀深度分布微调是关键问题,也是我们的主要创新之处。大面积扫描离子束刻蚀具备很高的生产效率,而该方案中只是在刻蚀过程中引入了动态叶片以微调刻蚀深度,因此该方案的生产效率也是很高的。二、从理论上,就刻槽深度和占宽比对衍射效率均匀性的影响进行了量化分析,确定了取样光栅的刻槽深度和占宽比的工艺容差范围。这种容差分析方法是实现光栅制作工艺宽容度量化的实用手段。不同于以往的单变量分析方法,它通过多变量误差条来同时限定各个参数的容差范围,从而,将光栅制作过程抽象为多变量动态规划问题。论文中给出了以衍射效率均匀性为目标的双变量(刻槽深度和占宽比)容差分析,结果表明,占宽比的测量精度不低于±0.01、刻蚀深度的控制精度不低于±0.2nm时,可以达到衍射效率均匀性RMS不大于5%的目标。三、提出了刻蚀深度分布微调方法。搭建了刻蚀深度分布微调系统,用于开展实验验证工作;推导了刻蚀深度分布微调算法,用于模拟刻蚀深度分布微调过程和优化微调系统的电机运动轨迹。在原有大面积扫描离子束刻蚀系统的基础上,我们开发了一个驱动动态叶片的简易机械装置即FAC微调组件,通过动态叶片的扫描遮挡从而实现覆盖整个光栅基片的刻蚀深度分布微调。另外,我们引入了一些新的概念来描述刻蚀深度分布微调过程,并对微调过程进行建模分析和模拟计算;其中,遮挡时间和遮挡率、离子束刻蚀过程的时空分析、S形曲线转换关系等都是突破性的想法。四、提出了变束斑离子束修形方法。将刻蚀深度分布微调算法推广到精密光学加工领域,并建立了以积分刻蚀时间为核心概念的求解方法。相对于传统的离子束修形方法,变束斑离子束修形有诸多优点,例如,可更好地适应于不同空间频率面形误差的去除、修形过程更稳定可靠、刻蚀时间求解更精确等。这种变束斑光学加工的思想有望进一步推广到其他先进光学加工领域。

下载App查看全文

(如何获取全文? 欢迎:、、)

支持CAJ、PDF文件格式


【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张培琨,李育林,刘家英,乔学光,忽满利,贾宏志;线性啁啾光栅结构参数优化的定量研究方法[J];光子学报;1998年06期
2 吴建宏,陈家璧,唐敏学,吴中林;随机光栅定向散射器的设计[J];光电子·激光;2001年10期
3 卢向东,傅克祥,王植恒,麻建勇;椭偏法测光栅参数的可行性理论研究[J];激光杂志;2003年01期
4 陈德伟;;采样光栅设计与衍射行为分析[J];激光杂志;2006年03期
5 叶超;谢永军;付绍军;何世平;;采用弹性基底制作变间距光栅[J];微细加工技术;2006年02期
6 叶锡标;周成刚;张阳;黄文浩;;基于透反式二维绝对零位光栅的光刻对准技术[J];中国科学技术大学学报;2007年03期
7 叶燕;陈林森;;埋入式光栅双通道特性及其应用研究[J];光学学报;2008年12期
8 沈洪斌;张雏;司宾强;;基于狭缝方程的二次扭曲光栅的设计与衍射模拟[J];激光杂志;2008年02期
9 方明月;段永远;谌夏;彭姝慧;蒲利春;;非线性光栅器件[J];重庆工学院学报(自然科学版);2008年03期
10 刘荣祁;陈建荣;林宝卿;庄其仁;;浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法[J];应用激光;2009年03期
11 厉以宇;王媛媛;陈浩;朱德喜;胡川;瞿佳;;基于二维结构薄膜的偏振选择相位光栅的研究[J];物理学报;2010年07期
12 王聪;张军伟;杜丽;周海;;光栅拼接技术研究进展[J];激光与光电子学进展;2011年08期
13 尤勐;黄战华;蔡怀宇;;用于彩色屏显的双层耦合光栅设计[J];光学学报;2012年10期
14 崔敏;张斌珍;张勇;;一种新型可调光栅的制作方法[J];传感器与微系统;2013年03期
15 卢中尧;;用可控光学透明光栅记录全息档案信息[J];激光与光电子学进展;1984年02期
16 许胜虎,汤一新;二维二元位相光栅的化学蚀刻制作方法[J];浙江师大学报(自然科学版);1996年02期
17 王植恒,傅克祥,张奇志,唐雄贵;各向异性介质光栅的模式理论算法[J];激光杂志;2001年05期
18 殷玲,陈非凡;可编程相位光栅结构的微机械特性研究[J];微细加工技术;2003年03期
19 何定高;曹益平;;基于相位测量轮廓术的复合光栅优化设计[J];光电工程;2008年02期
20 龚岩栋,张玉金,陈根祥,简水生;光纤中布喇格光栅的研究进展[J];光通信技术;1996年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘恒彪;王占山;;纳米光栅结构长度标准研制[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 耿康;陈新荣;吴建宏;;用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
3 白昱;金玉;刘岳峰;冯晶;孙洪波;;光栅微结构提高有机电致发光器件光取出效率的研究[A];全国第15次光纤通信暨第16届集成光学学术会议论文集[C];2011年
4 李术新;梁东;邢岐荣;徐世祥;郎利影;田震;柴路;王清月;;零级深度金属光栅对太赫兹波透过特性的理论研究[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
5 曹召良;卢振武;李凤有;孙强;;亚波长周期结构光栅的制作工艺和理论关系研究[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
6 成希革;黄吉发;尹振宇;李雪玲;;内置多叶光栅集成[A];第八届全国医用加速器学术交流会论文集[C];2009年
7 杨德兴;王海滨;赵建林;张鹏;郭夏锐;;层状多重体全息光栅的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
8 周常河;;低密度光栅的飞秒信息处理技术[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年
9 闵长俊;焦小瑾;王沛;明海;;表面有凹槽的亚波长金属光栅结构中光的透射现象的研究[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
10 赖建军;梁华锋;王彬;翟小锋;;基于金属/介质/金属光栅的窄带红外发射/吸收结构设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 金娃;PCF热传导与形变机理及在熔接和光栅制备中的应用研究[D];燕山大学;2015年
2 武华;面向硅基光子集成的光栅器件研究[D];北京工业大学;2015年
3 吴丽翔;取样光栅的刻蚀深度空间分布微调方法[D];中国科学技术大学;2015年
4 吴华明;硅基微纳二元非均匀光栅的研究及应用[D];华中科技大学;2010年
5 董毅;用于光互连的体波导光栅耦合器:分析、制备和应用[D];山东大学;2008年
6 韩建;全息光栅曝光光学系统优化及光栅掩模参数控制方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
7 陈上碧;多层介质膜脉宽压缩光栅的清洗及阈值研究[D];中国科学技术大学;2012年
8 王斌;亚波长介质光栅设计简化模式法的修正及相关研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2014年
9 郑春艳;液晶光栅相控阵波前检测及性能分析[D];电子科技大学;2012年
10 冯俊波;硅基微纳光栅耦合器件及其制备技术研究[D];华中科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何培栋;基于LiNbO_3的波导及光栅的研究[D];天津理工大学;2015年
2 周阳;全息深亚波长光栅技术研究[D];苏州大学;2015年
3 张嘉赫;OCB模式液晶光栅的光学特性研究[D];大连海事大学;2015年
4 卢鹭云;宽光谱光栅侧面耦合集光技术研究[D];浙江大学;2015年
5 陈剑科;新型二维折叠光谱仪的工程化研制及其应用[D];复旦大学;2014年
6 汪瑾;片状光栅内各模式性质研究[D];华东师范大学;2015年
7 胡瑞;基于复合微纳金属光栅—波导结构的双通道带通滤波器的设计[D];大连理工大学;2015年
8 杨倩;基于叠印采样光栅的光码分多址编解码技术研究[D];南京大学;2014年
9 张新彬;偏振分束光栅的设计和制造[D];福建师范大学;2015年
10 任建文;光折变光栅滤波器及其应用研究[D];浙江工业大学;2014年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 通讯员  周晔 记者  李雪林;[N];文汇报;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978


{bck}| {bck体育官网}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bck体育}| {bckbet}| {bcksports}| {bck官网}| {bck}| {bck体育官网}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bck体育}| {bck}| {bck体育官网}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bck体育}| {bckbet}| {bcksports}| {bck官网}| {bck}| {bck体育下载}| {bck体育}| {bckbet}| {bcksports}| {bck官网}| {bck}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bck体育}| {bckbet}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bck体育}| {bckbet}| {bcksports}| {bck体育下载}| {bckbet}| {bcksports}| {bck体育官网}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bck体育}| {bck官网}| {bck体育下载}| {bckbet}| {bcksports}| {bck官网}| {bck体育app}| {bck体育}| {bcksports}| {bck官网}| {bck体育下载}| {bck体育}| {bckbet}| {bcksports}| {bck官网}| {bck体育}| {bcksports}| {bck官网}| {bck体育官网}| {bck体育下载}| {bck体育}| {bckbet}| {bcksports}| {bck}| {bck体育官网}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bck体育}| {bckbet}| {bck官网}| {bck}| {bck体育官网}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bcksports}| {bck官网}| {bck}| {bck体育官网}| {bcksports}| {bck体育下载}| {bck体育app}| {bckbet}|
{uc8}| {uc8体育}| {uc8官网}| {uc8老虎机}| {UC8娱乐城}| {uc8彩票}| {uc8}| {uc体育}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8官网}| {uc8老虎机}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8老虎机}| {uc8老虎机}| {UC8娱乐}| {uc8}| {uc体育}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8老虎机}| {uc8彩票}| {uc8}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8官网}| {UC8娱乐}| {UC8娱乐城}| {uc8}| {uc体育}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8官网}| {uc8老虎机}| {UC8娱乐}| {UC8娱乐城}| {uc8}| {uc体育}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8官网}| {uc8老虎机}| {UC8娱乐}| {UC8娱乐城}| {uc8}| {uc体育}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8官网}| {uc8老虎机}| {UC8娱乐}| {uc8彩票}| {uc8}| {uc体育}| {UC体育}| {UC8娱乐城}| {uc8}| {UC体育}| {uc8官网}| {uc8老虎机}| {uc8}| {uc体育}| {uc8体育}| {UC体育}| {uc8官网}| {uc8老虎机}| {UC8娱乐}| {UC8娱乐城}|